Nanolitografia é a arte e ciência da gravura, escrita ou impressão a nível microscópico, onde as dimensões dos caracteres estão na ordem dos nanómetros (unidades de 10 -9 metros, ou milionésimos de milímetro). Isto inclui vários métodos de modificação de chips semicondutores ao nível do átomo de gelo para fins de fabricação de circuitos integrados (IC s).
Os instrumentos utilizados na nanolitografia incluem o microscópio de varredura (SPM) e o microscópio de força atômica (ATM). O SPM permite a visualização da superfície em detalhes finos sem necessariamente modificá-la. Tanto o SPM como o ATM podem ser usados para gravar, escrever ou imprimir em uma superfície em dimensões de um únicoatom.
Veja também nanomáquina e nanotecnologia .